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Al Ka分辨率:0.45eV 空间分辨率:20um 分析室真空:5.00E-10 mbar 二次电子图像 :≤ 95 nm 俄歇电子谱:灵敏度 ≥600,000 cps(10kV 10nA ) 信噪比 ≥750
材料表面成分、价态分析
yes
无