(1)系统盖板具有智能嵌锁装置；设有保护气体装置；双向马达，可正反转；(2)理腔体内径不小于380毫米；无需更换片托；腔体可易清洁。(3)旋转马达速度满足0-12,000rpm；加速度不小于12,000rpm/sec；马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1%；(4)工艺时间设定范围至少满足1-5999.9 sec/step ，精度不超过0.1s；配有高精度PLC可编程的控制器，设置点精度小于0.006%；可存储不少于20个程序段，每个程序段可设置不少于51个不同步骤的速度状态；分辨率要小于0.5RPM，重复性误差要小于±0.5RPM，具有国际标准认证，并且无需再校准；带回吸功能的自动滴胶装置（滴胶控制精度1ml±0.1 无滴漏）；(5) 配套真空泵真空吸附范围635-711毫米汞柱，可调节，抽速不小于4.5 SCFM (0.11 立方米/分钟。
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